Центр выполняет заказы кафедр и лабораторий института, других вузов, институтов РАН, отраслевых научно-исследовательских институтов и предприятий по направлениям:
  • Количественный и качественный элементный анализ состава твердых тел
  • Определение фазового состава приповерхностных слоев твердых тел
  • Послойный анализ (распределение примесей по глубине до ~ 5мкм)
  • Электронно-микроскопические исследования твердых тел

Разработки центра:

  • Способ получения пьезоэлектрических монокристаллов ниобата лития с полидоменной структурой для устройств точного позиционирования
  • Сканирующий зондовый микроскоп для нанотехнологии
Разработки защищены патентами, награждены золотыми медалями выставок.

Уникальное оборудование Центра:

  • Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр PHI 5500 ESCA фирмы Physical Electronics (США)
  • Электронный оже-спектрометр PHI 680 AES фирмы Physical Electronics (США)
  • Вторичный ионный масс-спектрометр PHI-6600 SIMS System фирмы Physical Electronics (США)
  • Сканирующий ионный микроскоп Strata-201 фирмы FEI Company (Нидерланды)
  • Лазерный масс-спектрометр LAMMA-1000 фирмы Leybold Heraus (Германия)
  • Профилометр ALPHA-STEP фирмы Tencor (CША)
  • Рентгеновский дифрактометр высокого разрешения Bede D`System фирмы Bede Scientific Instruments Ltd. (Великобритания)
  • Сканирующий туннельный микроскоп (СТМ) (оригинальная разработка Центра)
  • Технологическая установка получения алмазоподобных нанокомпозитов, алмазоподобных пленок и углеродных нанотрубок ULVAC CN-CVD-100 (Япония)
  • Просвечивающий электронный микроскоп JEM-2000 EX (Япония)
  • Растровый электронный микроскоп JSM-6700F с микроанализатором фирмы JEOL (Япония)

Инновационные проекты:

  • Методика оценки количественного критерия РФС-анализа
  • Методика расчета данных из зашумленных оже-спектров и низкоразмерных объектов (~20 нм)

Научная деятельность:

  • Материаловедение объемных и тонкопленочных структур
  • Нанотехнологии и материалы
  • Структура и дефектообразование и их влияние на свойства массивных и тонкопленочных материалов электронной техники
  • Разработка учебно-научного оборудования для исследования поверхностей твердых тел зондовыми методами

Контакты и сотрудники:

Директор: профессор, доктор физико-математических наук Пархоменко Юрий Николаевич
Тел./факс: 236-0512
Е-mail: parkh@rambler.ru